Cognex Corporation, `s werelds belangrijkste leverancier van machinevisionsystemen en wafer readers voor de halfgeleiderindustrie, lanceert de In-Sight 1820 vision-based wafer pre-aligner. Door gebruik te maken van de gedeponeerde Cognex NotchMax alignmenttechnologie zorgt het 1820-visionsysteem voor exacte, non-contact metingen van waferpositie en oriëntatie die sneller en accurater zijn dan vergelijkbaar geprijsde mechanische systemen.
De In-Sight 1820 bepaalt de waferpositie en oriëntatie in minder dan een halve seconde terwijl mechanische pre-aligners normaal gesproken wafers verschillende seconden moeten laten draaien. NotchMax, het laatste lid van de Cognex industry-leading PatMax familie van geometrische patroon vindende technologieën, lijnt wafers uit met een centrumpositie-nauwkeurigheid van +/- 15µm en een oriëntatienauwkeurigheid van +/- 0.05 graden. Nauwkeurigere pre-alignment bespaart fijnafstellingsstappen binnen een process tool om de doorzet te verhogen.
